集束型晶圆制造装备调度及其优化算法

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  • 【作者】李林瑛,卢睿著
  • 【关键词】半导体工艺设备 调度 半导体工艺设备 最优化算法
  • 【出版社】电子工业出版社
  • 【出版日期】2017
  • 【ISBN】978-7-121-31227-4
  • 【中图分类号】 TN305
  • 【内容简介】本书以集束型晶圆制造装备为研究对象,在全面分析其调度特点及调度方法的基础上,分析集束型装备各类调度问题,运用优化调度方法设计了相应的求解方案。全部展开
  • 【页码】328页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 宁波图书馆 海宁市图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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