基于脉冲激光沉积富硼B-C薄膜的关键技术研究

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  • 【作者】章嵩
  • 【关键词】富硼渣 激光淀积 研究
  • 【出版社】科学出版社
  • 【出版日期】2017
  • 【ISBN】978-7-03-055333-1
  • 【中图分类号】 TD926.4
  • 【内容简介】本书旨在利用脉冲激光沉积技术,将其分别采用碳化硼陶瓷靶与硼-碳拼命靶为靶材。通过对靶材成分、组成形式及沉积温度等工艺参数的调整,得到表面平整、厚度均匀及成分可控的富硼B-C薄膜,建立靶材成分、组成形式和沉积温度等工艺参数与薄膜组成、结构之间的关系,对该系列薄膜的生长机理进行分析研究。全部展开
  • 【页码】90页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 杭州图书馆 滨江区图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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