半导体材料国家标准汇编

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  • 【作者】中国标准出版社
  • 【关键词】半导体材料 国家标准 中国
  • 【出版社】中国标准出版社
  • 【出版日期】2023.03
  • 【ISBN】978-7-5066-9156-7
  • 【中图分类号】 TN304-65
  • 【内容简介】本书收集截至2022年8月底发布的有关国家标准74项,主要包括硅多晶、锗单晶、硅片和碳化硅等国家标准。全部展开
  • 【页码】739页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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