精“芯”打造 集成电路的制造设备

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  • 【作者】杨晓峰殳峰 编著
  • 【关键词】集成电路工艺 半导体工艺设备
  • 【出版社】上海科学普及出版社
  • 【出版日期】2022.10
  • 【ISBN】978-7-5427-8275-5
  • 【中图分类号】 TN305-49
  • 【内容简介】本书以集成电路的发展历程为主线,结合发生的本书主要介绍集成电路制造的各种设备,以青少年熟悉的“武林高手”的形式介绍主要集成电路制造设备,如被称为集成电路制造的“四大金刚”离子注入机、光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。从这些设备在集成电路制造中的各自作用入手,图文并茂地围绕“精”这个字,体现集成电路制造设备的技术先进性、复杂度和极具挑战性的特点。全部展开
  • 【页码】120页
  • 【丛书名】“芯”路丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    临海市图书馆 台州市椒江区图书馆 天台县图书馆 温岭市图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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