硅基锗材料生长与器件构筑

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  • 【作者】陈城钊
  • 【关键词】 硅基材料 纳米材料 半导体光电器件 结构
  • 【出版社】哈尔滨工程大学出版社
  • 【出版日期】2020
  • 【ISBN】978-7-5661-2648-1
  • 【中图分类号】 TN304.2/TN36
  • 【内容简介】本书是一本硅基锗材料及其光电器件方面的入门书籍。本书分为三个部分,首先介绍了硅基锗材料生长及器件的基础知识,接着阐述了采用低温缓冲层技术外延生长硅基锗材料,锗的原位硼(B) 和磷(P) 掺杂,最后是硅基锗 PN结和PIN结构的基本物理特性,并给出相关特性的定性与定量分析。全部展开
  • 【页码】99页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

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  • 【获取途径】 文献传递
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