直拉硅单晶生长过程数值模拟与工艺优化

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  • 【作者】刘丁
  • 【关键词】直拉硅单晶 晶体生长 过程模拟 研究
  • 【出版社】科学出版社
  • 【出版日期】2020
  • 【ISBN】978-7-03-066706-9
  • 【中图分类号】 TN304.053
  • 【内容简介】本书在概述硅单晶发展前景、主要生长设备及关键工艺的基础上,介绍直拉硅单晶生长过程数值模拟方法、工艺流程与参数设置、热系统设计与制造等方面的内容;从介观层面阐述多物理场耦合作用对晶体生长的影响,并给出关键工艺参数选取方法;提出一系列结合变量检测、智能优化及先进控制技术的硅单晶工艺研究理论和工程实现方法。全部展开
  • 【页码】13,315页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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