极限制造

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  • 【作者】高治军许可
  • 【关键词】纳米材料
  • 【出版社】中国矿业大学出版社有限责任公司
  • 【出版日期】2018.09
  • 【ISBN】978-7-5646-3950-1
  • 【中图分类号】 TN103
  • 【内容简介】本书以典型纳米器件——单壁碳纳米管场效应晶体管装配制造为范例,面向纳米器件规模化制造,针对SWCNT FET规模化制造市场需求,系统研究了基于浮动电势和介电泳原理的纳米器件装配方法,设计实现了基于浮动电势介电泳的纳米器件批量化装配技术,实验结果验证了研究方法的有效性和可行性,为纳米电子器件制造技术发展提供了有意义的理论指导和实验方法。全部展开
  • 【页码】127页页
  • 【丛书名】学术前沿研究
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    宁波图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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