微机电器件设计、制造及计算机辅助设计

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  • 【作者】郭占社[编著]
  • 【关键词】微电子技术
  • 【出版社】北京航空航天大学出版社
  • 【出版日期】2016
  • 【ISBN】978-7-5124-2109-7
  • 【中图分类号】 TN4
  • 【内容简介】本书介绍了微机电系统的基础理论、重要材料和制造工艺,对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述,可作为微机电系统领域的研究参考资料及教材。全部展开
  • 【页码】272页页
  • 【丛书名】北京航空航天大学“研究生英文教材”系列丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    宁波图书馆 临海市图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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