微纳米加工技术及其应用

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  • 【作者】崔铮
  • 【关键词】纳米材料 新技术应用
  • 【出版社】高等教育出版社
  • 【出版日期】2020
  • 【ISBN】978-7-04-054302-5
  • 【中图分类号】 TB383
  • 【内容简介】本书强调实用,避免烦琐的数学分析,而以大量图例加以说明;既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展。在应用方面主要介绍了微纳米加工技术在超大规模集成电路加工、纳米电子学、高密度磁存储技术、光电子技术、微机电系统技术、生物芯片技术与纳米技术中的典型应用。全部展开
  • 【页码】549页
  • 【丛书名】纳米科学与技术著作系列
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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