微纳米加工技术及其应用

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  • 【作者】崔铮
  • 【关键词】纳米材料 加工 纳米材料 应用
  • 【出版社】高等教育出版社
  • 【出版日期】2009
  • 【ISBN】978-7-04-026358-9
  • 【中图分类号】 TB383
  • 【内容简介】本书综合介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。全部展开
  • 【页码】466页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 杭州图书馆 淳安图书馆分馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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