衬底基片超精密加工技术

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  • 【作者】周海 编著
  • 【关键词】发光二极管 生产工艺
  • 【出版社】科学出版社
  • 【出版日期】2014
  • 【ISBN】978-7-03-039281-7
  • 【中图分类号】 TN383.05
  • 【内容简介】本书详细介绍了蓝宝石衬底基片从晶体生长到可用于外延生长的衬底基片的工艺全过程。不仅阐述了蓝宝石衬底基片的超精密加工基本原理,而且结合具体加工设备,分析了蓝宝石衬底基片超精密加工工艺参数,同时介绍了国内外最新的发展和成就。全部展开
  • 【页码】175页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
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