微米加工与纳米制造

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  • 【作者】(美)马克 J. 杰克逊(Mark J. Jackson)主编;缪旻,张月霞,李振松译
  • 【关键词】纳米技术
  • 【出版社】机械工业出版社
  • 【出版日期】2016
  • 【ISBN】978-7-111-51482-4
  • 【中图分类号】 TB303
  • 【内容简介】本书系统地梳理了微米加工(特别是非硅基加工)技术以及纳米加工手段,结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例,阐释了这些技术的原理和特点,提出了特定问题的高效率解决方案,给出了工艺设计方面的指南,并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。全部展开
  • 【页码】21,375页
  • 【丛书名】国际制造业先进技术译丛
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 温州市图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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