基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究

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  • 【作者】王璐
  • 【关键词】脉象仪 研究
  • 【出版社】黑龙江大学出版社
  • 【出版日期】2013
  • 【ISBN】978-7-81129-500-9
  • 【中图分类号】 TH789
  • 【内容简介】本书介绍了采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术,设计并制作硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的MOSFETs脉象传感器的方法,阐述了纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的制作方法,以及采用人工神经网络处理脉象检测结果的方法。全部展开
  • 【页码】273页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 杭州图书馆 滨江区图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
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