直拉硅单晶生长过程建模与控制

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  • 【作者】刘丁
  • 【关键词】直拉硅单晶 晶体生长 过程模型 直拉硅单晶 晶体生长 过程控制
  • 【出版社】科学出版社
  • 【出版日期】2015
  • 【ISBN】978-7-03-043346-6
  • 【中图分类号】 TN304.053
  • 【内容简介】本书内容包括:绪论、硅单晶生长原理、直拉硅单晶生长设备、直拉硅单晶热系统建模与设计实现、磁场环境下直拉硅单晶生长原理与实现、晶体生长过程关键变量的检测与信息处理、晶体生长过程控制原理与方法、全自动单晶炉自动控制系统设计与实现。全部展开
  • 【页码】13,285页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 温州市图书馆 乐清市图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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