氧化锌薄膜材料

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  • 【作者】刘耀东
  • 【关键词】氧化锌 薄膜 工程材料
  • 【出版社】国防工业出版社
  • 【出版日期】2013
  • 【ISBN】978-7-118-08536-5
  • 【中图分类号】 TB383
  • 【内容简介】本书针对ZnO材料的发展趋势及应用背景,深入系统介绍了ZnO薄膜材料的本征特性及其掺杂机理,涉及了一些最新的制备技术,包括有溅射法、脉冲激光沉积(PLD)、原子层外延(ALE)、金属有机物汽相外延(MOCVD)、分子束外延(MBE)等。全部展开
  • 【页码】134页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 嘉兴市图书馆 温州市图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
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