集成电路(IC)制程简论

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  • 【作者】田民波 编著
  • 【关键词】集成电路
  • 【出版社】清华大学出版社
  • 【出版日期】2009
  • 【ISBN】978-7-302-20959-1
  • 【中图分类号】 TN4
  • 【内容简介】本书以特征线宽130nm以下为重点,涉及集成电路制作工艺的各个方面,特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。全部展开
  • 【页码】15,244页
  • 【丛书名】新材料及在高技术中的应用丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 杭州图书馆 温州市图书馆 绍兴图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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