电磁场协同增强高功率脉冲磁控放电及沉积特性

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  • 【作者】李春伟
  • 【关键词】电磁场 协同 电磁脉冲 脉冲放电 研究
  • 【出版社】东北林业大学出版社
  • 【出版日期】2019
  • 【ISBN】978-7-5674-1823-3
  • 【中图分类号】 O461.2
  • 【内容简介】本书介绍了一种电-磁场协同增强高功率脉冲磁控放电的高效、高离化率、高沉积速率新技术,并围绕该新技术的放电等离子体特性、发射光谱特性、沉积制备钒膜的结构及性能进行了研究。全部展开
  • 【页码】201页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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