折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

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  • 【作者】张新宇谢长生
  • 【关键词】刻蚀 研究
  • 【出版社】国防工业出版社
  • 【出版日期】2021
  • 【ISBN】978-7-118-12284-8
  • 【中图分类号】 TN405.98
  • 【内容简介】本书主要针对可见光、红外和太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构,开展新的设计、工艺制作和测试评估方法的研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础,有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法,建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、?全部展开
  • 【页码】211页
  • 【丛书名】现代微纳光学光电成像探测技术丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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