纳米加工技术与原理

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  • 【作者】(加)Maria Stepanova,(加)Steven Dew编段辉高 [等]译
  • 【关键词】纳米材料 加工
  • 【出版社】国防工业出版社
  • 【出版日期】2021
  • 【ISBN】978-7-118-12322-7
  • 【中图分类号】 TB383
  • 【内容简介】本书介绍了当前几种典型的非CMOS纳米加工技术及其原理。具体内容包括电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能、纳米压印技术、原子层沉积纳米技术等。全部展开
  • 【页码】12,318,10页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 台州市黄岩区图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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