集成电路芯片制造工艺技术

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  • 【作者】李可为 主编
  • 【关键词】集成电路工艺
  • 【出版社】高等教育出版社
  • 【出版日期】2011
  • 【ISBN】978-7-04-031800-5
  • 【中图分类号】 TN405/TN405
  • 【内容简介】本书主要讲述集成电路芯片制造工艺技术,主要有十三章,内容包括集成电路芯片制造工艺概述、氧化技术、扩散技术、光刻技术、刻蚀、离子注入、化学气相沉淀、金属化、表面钝化等。全部展开
  • 【页码】159页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    宁波市鄞州区图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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