微光学和纳米光学制造技术

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  • 【作者】(美)Shanalyn A. Kemme编著;周海宪, 程云芳译
  • 【关键词】微光技术 光学元件 制造 纳米材料 光学元件 制造
  • 【出版社】机械工业出版社
  • 【出版日期】2012
  • 【ISBN】978-7-111-39448-8
  • 【中图分类号】 TH74
  • 【内容简介】本书内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维(3D)光子晶体的制造——钨成型法。全部展开
  • 【页码】12,196页
  • 【丛书名】国际信息工程先进技术译丛
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 杭州图书馆 滨江区图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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