等离子体刻蚀工艺及设备

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  • 【作者】赵晋荣
  • 【关键词】等离子刻蚀 等离子刻蚀 工艺学 设备
  • 【出版社】电子工业出版社
  • 【出版日期】2023.02
  • 【ISBN】978-7-121-45018-1
  • 【中图分类号】 TN305.7
  • 【内容简介】本书以集成电路领域中的等离子体刻蚀为切入点,介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。全书共8章,内容包括集成电路简介、等离子体基本原理、集成电路制造中的等离子体刻蚀工艺、集成电路封装中的等离子体刻蚀工艺、等离子体刻蚀机、等离子体测试和表征、等离子体仿真、颗粒控制和量产。全部展开
  • 【页码】180页
  • 【丛书名】集成电路系列丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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