光学投影曝光微纳加工技术

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  • 【作者】姚汉民,胡松,邢廷文著
  • 【关键词】光学投影系统 电子束光刻
  • 【出版社】北京工业大学出版社
  • 【出版日期】2006
  • 【ISBN】7-5639-1669-5
  • 【中图分类号】 TH761.8/TN405
  • 【内容简介】本书系统介绍主流光刻技术ーー光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景,详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。全部展开
  • 【页码】285页
  • 【丛书名】电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 宁波图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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