微光机电系统(MOEMS)

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  • 【作者】张文栋, 熊继军编著
  • 【关键词】微光技术
  • 【出版社】机械工业出版社
  • 【出版日期】2006
  • 【ISBN】7-111-19266-4
  • 【中图分类号】 TH-39
  • 【内容简介】本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术;重点介绍了各种MOEMS器件,包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。全部展开
  • 【页码】10,310页
  • 【丛书名】光机电一体化技术丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 嘉兴市图书馆 宁波图书馆 绍兴图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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