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- [图书] 电子束和离子束工艺在微电子学中的应用 第二集
- 作者：中国科学院电工研究所编辑
- 出版社：中国科学院电工研究所
- 出版日期：1972
- 所属馆：
- 获取途径：
- 年份：
- 至
使用说明：
通用字段：
T=标题（书名、标题），A=作者（责任者），K=关键词，S=文摘（摘要、视频简介）， O=作者单位（作者单位、学位授予单位），Su=主题（标题、关键词、摘要），Z=全部字段
Y=年（出版发行年、学位年度、会议召开年、专利申请年、标准发布年），Clc=中图分类号
文献类型：
BK=图书，JN=期刊，DT=学位，CP=会议，PT=专利，ST=标准，VI=音视频，NP=报纸，TR=科技成果
非通用字段(需要加上文献标识才能检索)：
图书：BKs=丛书名；期刊：JNj=刊名；学位：F=指导老师，DTn=学位，Tf=英文标题，DTa=英文文摘；会议：CPn=会议名称；报纸：NPn=报纸名称；专利：PTt=专利类型，F=专利申请人；标准：STd=起草单位
检索规则说明：
（1）所有符号和英文字母，都必须使用英文半角字符；
（2）"" 代表精确匹配，''代表模糊匹配；
（3）同一字段运算规则：* 代表并且，| 代表或者， - 代表不包含；
（4）不同字段间逻辑检索规则：AND（与）、OR（或）、NOT（非）。关系符号间空一个字节并且只能用大写字母；
（5）逻辑运算优先级：不同字段间：NOT > AND > OR；同一字段间：- > * > |，若要改变组合的顺序，请使用英文半角括号“()”括起
例一：检索2000至2016年（含边界）关键词不包含断层并且作者为钱学森，或者清华大学杨振宁或是周培源发表的期刊文章：
JN((A=杨振宁|周培源 AND O=清华大学) OR A=钱学森 AND 2000<Y<2016 NOT K=断层)
例二：检索期刊作者单位属于跟“海”或者“海洋”有关的一些相关机构，且主题是海洋，出版年范围2000至2016年（含边界）：
JN(O=(海|海洋)*(研究所|中心|学院|分局|大学|研究室|实验室|系)) AND Su=海洋 AND 2000<Y<2016
（6） 检索词包含空格或逻辑符号，需要加模糊匹配符号''或者精确匹配符号""，如K="cryptography"|'cipher code'|"Multimedia security"