- [图书] 半导体微纳制造技术及器件
- 作者:云峰,李强,王晓亮著
- 出版社:科学出版社
- 出版日期:2020
- ISBN:978-7-03-066146-3
- 内容简介:本书基于课题组的研究成果和研究方向,对目前主流采用的半导体微纳制造技术进行归纳,结合已得到验证的理论进行部分机理的论述,结合半导体微纳光电器件的发展现状阐述半导体微纳器件的应用及发...
- 丛书名:先进光电子科学与技术丛书
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