- [图书] 集成电路芯片制造工艺技术
- 作者:李可为主编
- 出版社:高等教育出版社
- 出版日期:2011
- ISBN:978-7-04-031800-5
- 内容简介:本书主要讲述集成电路芯片制造工艺技术,主要有十三章,内容包括集成电路芯片制造工艺概述、氧化技术、扩散技术、光刻技术、刻蚀、离子注入、化学气相沉淀、金属化、表面钝化等。
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