- [图书] 离子束沉积薄膜技术及应用
- 作者:刘金声著
- 出版社:国防工业出版社
- 出版日期:2003
- ISBN:7-118-02882-7
- 内容简介:本书系统地介绍了IBD薄膜的原理、方法及应用。
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