- [图书] 电磁场协同增强高功率脉冲磁控放电及沉积特性
- 作者:李春伟著
- 出版社:东北林业大学出版社
- 出版日期:2019
- ISBN:978-7-5674-1823-3
- 内容简介:本书介绍了一种电-磁场协同增强高功率脉冲磁控放电的高效、高离化率、高沉积速率新技术,并围绕该新技术的放电等离子体特性、发射光谱特性、沉积制备钒膜的结构及性能进行了研究。
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